MEMS-Sensoren als Bausteine der vernetzten Welt

Bausteine für die vernetzten Welt: Das Bild eines Rasterelektronen-mikroskops (REM) zeigt die feinen geätzten Silizium-Strukturen eines Beschleunigungssensors von Bosch. Zum Größenvergleich liegt ein menschliches Haar auf der Struktur. Die Silizium-Strukturen in der Mitte des Chips messen die Beschleunigung oder Neigung in allen drei Raumrichtungen. Die einzelnen „Balken“ sind rund 2 Mikrometer (µm) breit und 20 Mikrometer hoch. Ein Mikrometer ist der tausendste Teil eines Millimeters (0,001 Millimeter). Wenn ein solcher Sensor in einem Handy bewegt wird, beträgt Auslenkung der „Balken“ abhängig von der Beschleunigung einige 10 Nanometer (10 nm = 0,01 µm). Das Haar ist im Vergleich rund 90 Mikrometer dick. Die Aufnahme wurde nachträglich am Computer eingefärbt.